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正确掩护保养纯水处理设备的重要性解析

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正确掩护保养纯水处理设备的重要性解析

发布日期:2016-08-02 作者: 点击:

随着工业化的普及,纯水在电子工业重要是电子元器件生产中的重要作用日益突出,纯水水质已成为影响电子元器件产品德量、生产成品率及生产成本的重要因素之一,水质请求也越来越高。在电子元器件生产中,高纯水重要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料,不同的电子元器件生产中纯水的用处及对水质的请求也不同。


温泉水处理设备在电解电容器生产中,铝箔及工作件的清洗需用纯水,如水中含有氯离子,电容器就会漏电。在电子管生产中,电子管阴极涂敷碳酸盐,如其中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,因此其配液要应用纯水。


在晶体管、集成电路生产中,纯水重要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制,硅片氧化的水汽源,部分设备的冷却水,配制电镀液等。集成电路生产过程中的80%的工序需要应用高纯水清洗硅片,水质的好坏与集成电路的产品德量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良,重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特征恶化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)会使P型半导体特征恶化,水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20-50%)会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏,水中的颗粒(包含细菌)如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特征变差。


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